①真空出料齿轮泵齿形修理：用细砂布或油石除去拉伤或已磨成多棱形的部位，再将齿轮啮合面调换方位并适当地进行对研，之后清洗干净；对用肉眼能观察到的严重磨损件应予以更换。
②端面修理：高真空出料泵齿轮端面与轴承座或前后盖相对转动而磨损，当起线时，可用研磨方法将起线毛刺痕迹研去并抛光；磨损严重时，可以将齿轮放在平面磨床上进行修磨。此时需要引起重视的是，两个齿轮必须同时放在平面磨床上进行修磨；而且同时必须保证端面与孔的垂直度及两端面的平行度均在5μm范围内，并用油石将锐边倒钝。
③当真空出料泵齿轮啮合表面磨损时，应将磨损所产生的毛刺去掉；同时，调换齿轮的啮合方位，用原来不啮合工作的齿形表面进行啮合工作，这样可以保证其原有的工作性能。
④主被轴失效，主要是在与滚针轴承相接触处出现磨损。如果磨损轻微，可采用抛光修复(并更换新的滚针轴承)；如果磨损严重或折断，则需用镀铬工艺修复， 或重新加工。
⑤泵体 泵体磨损，主要是在内腔与齿轮项圆相接触的那一面，且多发生在吸油侧。如果泵体属于对称型，将泵体翻转180度后再用;如果泵体属于非对称型，需要采用电 镀青铜合金工艺或电刷镀的方法修复泵体内腔孔的磨损部位。
⑥轴承座圈 轴承座圈的磨损一般在与齿轮接触的那一端面和与滚针接触的内孔上。端面磨损或拉毛起线时，可将4个轴承座圈放在平面磨床上，以不与齿轮接触的那一面为基准 将拉毛端面磨平，其精度应保证在10μm范围内。轴承座圈一般磨损较小，若磨损严重，可研磨；或适当地加大孔径并重新选配滚针；或更换轴承座圈。